基于真空系统油扩散泵的工作原理，分析油扩散泵返油的原因，总结出油扩散泵控制返油的方法；引用实例阐述如何查找返油原因；并根据具体原因采取具体措施，以降低油扩散泵的返油率。


扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就形成了返流；返流是扩散泵系统的主要污染。

因此，为了减少返流，在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置；例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同时泵的抽速也只是降低10%左右。

不幸的是，捕集返流的效率越高，对泵抽速的影响就会越大。例如：一个用水或液氮冷却的几乎可以完全捕集返流的装置，可能会使抽速降低30% 。

随着真空技术的不断发展，真空设备在冶金工业被广泛应用。油扩散泵作为大多数高真空系统的主泵，具有结构简单，抽气速率高，容易获得高真空等特点，备受青睐。

但是油扩散泵的返油问题，多年以来，却在生产实际中难以得到有效地解决。本文就如何控制油扩散泵的返油率，以期获得高真空系统为目的，从油扩散泵的设计原理及在生产实际中积累的经验进行探讨。


1、油扩散泵结构及工作原理

油扩散泵是以油蒸汽射流来携带气体达到抽真空目的。油扩散泵结构如图1。

它主要由泵体、导流管、分馏环和加热器组成。油作为工作液装在下面油锅内，经过加热器加热变成油蒸汽，沿着导流管上升，当油蒸汽到一、二、三级喷嘴处时，由于喷嘴处的截面突然缩小，蒸汽流的速度提高，高速的油蒸汽流从喷嘴喷出，形成伞形，只要气体分子碰到油蒸汽就极容易被携带走，而后达到泵的内壁上，泵壁是用冷却水冷却的，所以油蒸汽被冷凝成为油滴，沿泵壁流入油锅，气体分子不能被冷凝而放出；油再经过加热，蒸发成油蒸汽，一级一级地把气体分子从a1 区带到a2 区a3 再送到排气口，被前级泵抽走而实现排气的。