扩散泵的一个主要特点是皮实耐用,如果使用保养得当,可以正常工作很多年。在安捷伦举办的“寻找最长寿安捷伦扩散泵”活动中,发现了好多装机20年以上还在正常工作的的安捷伦(原Varian)扩散泵。结合安捷伦技术支持团队众多工程师的多年经验, 本文总结了安捷伦扩散泵使用时的一些比较容易忽略的注意事项,使用其它品牌扩散泵的用户也可以参考。
一定要使用原厂泵油
安捷伦扩散泵的喷塔、加热功率等是针对特种油品设计的,其抽速、极限真空等性能参数也都是在使用安捷伦官方油品时测试的,使用非安捷伦官方油品会影响我们对扩散泵的质量保证,也不利于安捷伦工程师进行故障排查,因为不同品牌或批次的第三方泵油组分可能会有较大的差异,可能会带来抽速/极限真空不够、结晶、焦化、返油等问题,严重时甚至会在不当操作时引发爆炸等危险。
注意观察油位和油的颜色
冷态/热态的时候分别应该接近但不要超过Cold Full/Hot Full的标线;油的颜色应该是无色或透明度很高的红棕色,当油的颜色变深、发黑时,要及时更换。
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